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探针

CSC11/Al BS 接触式探针

CSC11/Al BS
接触模式用探针,每个基片两边各有一个三角形悬臂,共振频率分别为28和155kHz,弹性系数分别为0.35和6.0N/m,针尖曲率半径<10nm,背面镀铝反射层。
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